InVue® GV148 液體濃度監測器

簡要描述：InVue® GV148 液體濃度監測器可以實時提供測量過程流體的濃度，用于化學混合、提升濃度和稀釋，無需中斷過程檢測。

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詳情介紹

集成一體的實時過程監控系統

InVue®GV148液體濃度監控器可以實時提供測量過程流體的濃度，用于化學混合、提升濃度和稀釋，無需中斷過程檢測。

InVue®GV148液體濃度監控器集成在一個小型密封外殼中，可提供性價比高的濃度監測，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工廠生產系統的工藝效率提高。這種工藝可以使過程控制更為嚴格，從而提高工藝效率，減少成本投入，也減少廢料的產生。

用戶軟件強大

采用基于Windows®的HMI軟件應用程序來支持 GV148配置和實時監控。該軟件允許用戶:

·獲得實時折射率、流體溫度和濃度信息

·自定義折射率以及濃度切換

·獲取和分析化學品特定溫度補償的數據

·傳感器平衡操作

·查看當前警告信息、系統事件和警告歷史信息

·折射率歸零

·配置模擬輸出

經過驗證的折射率檢測技術

GV148監測儀采用經過驗證的折射率檢測技術，外觀小巧，可提供準確、安全和可重復的液體濃度測量方法。在線傳感器可精確測量過程流體的折射率（IoR）和溫度。然后，我們將利用這些信息來計算工藝中液體的濃度。

工作原理

使用折射率技術，當光從平面玻璃或液體表面反射到光電二極管檢測器（PDA）時，InVue®GV148 濃度監測器開始工作。反射角是由液體與窗口之間的折射率比決定的。定制的算法可以檢測反射光強度的微小變化。這種可以反射幾何形狀的能力和小型化設計是InVue®GV148的重大特點。

應用領域

·H2 O2 溶液混合

·研磨液稀釋

·專有添加劑混合

·全球和本地循環監控

·批量溶液混合監控

·容器壽命檢測

·CMP后清潔溶液混合

功能與優勢

基于折射率的測量	為過程控制提供實時濃度和溫度驗證快速響應時間，用于即時偏差檢測測量各種介質中的濃度，包括非導電流體非直接接觸式，保持化學物質純度和潔凈度符合在線工藝效率要求
含氟聚合物和藍寶石的超純潤濕表面	保持化學物質的純度和潔凈
小巧型電子產品	最小化整體工具體積輕松集成到新的和現有的工具空間
HMI軟件	實時數據記錄和分析工具允許為定制專有化學品濃度監測用于密切監控系統事件，參數變化和警報歷史，包括詳細的事件日志
多種通信選項	RS485、RS422、4-20mA 靈活滿足各種控制系統
全密封傳感器	在惡劣的環境中依舊提供準確性、可重復性和可靠性
背景光扣除算法	在背景光存在的情況下依舊保持高準確性
傳感器無耗材	只需要最少的硬件和預防性維護
鏡面清潔端口	便于手動清潔藍寶石鏡面
LED狀態燈	提供監視器頻次、通信和錯誤的指示
可選的N2/DI自動* 原位鏡面清潔器	最大限度地減少維護停機時間，特別是在研磨液和親水性化學品中

*配備適當的閥門和控制器

功能與優勢

*親水性的組件

**對于折射率超出此范圍的流體，請聯系奧法美嘉

配置